如今幾乎已普及到所有家庭個(gè)人電腦（PC）所配備硬磁盤(pán)（HDD）過(guò)去超精密機(jī)床上用單晶金剛石刀具切削加工。近年來(lái)，磁盤(pán)面記錄密度年增長(zhǎng)率達(dá)到100％，實(shí)現(xiàn)了每1平方英寸達(dá)1G記錄密度。這一技術(shù)經(jīng)磨削加工后鋁合金基盤(pán)上鍍上無(wú)電解NIP薄膜，再通過(guò)研磨加工使其表面平滑而得以實(shí)現(xiàn)。而高性能加工技術(shù)進(jìn)步，也使得基盤(pán)材料從鋁合金更換為剛性比更高硅酸鋁玻璃、晶化玻璃等，因此，磨削、研磨加工重要性也更大了。

直線電機(jī)剛開(kāi)始開(kāi)發(fā)時(shí)，因其能實(shí)現(xiàn)高速加工而備受矚目。但近年來(lái)，使用直線電機(jī)目已逐漸轉(zhuǎn)向高精度化。也就說(shuō)，直線電機(jī)諸多優(yōu)良特性，很高定位精度圓弧插補(bǔ)精度尤其令人刮目相看。其原因非接觸式驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)沒(méi)有傳統(tǒng)伺服電機(jī)旋轉(zhuǎn)減速用齒輪副、滾珠絲杠、耦合件等各種機(jī)械因素引起誤差，以及直線電機(jī)必然采用閉路控制?！　?/span>

今后，高精度化加工技術(shù)發(fā)展將日益加速。精密加工，重要加工之一高精密平面加工。尤其精密測(cè)量?jī)x器、光學(xué)儀器、硅片等超精密加工領(lǐng)域，要求加工出無(wú)限平滑表面。為此，機(jī)床制造商開(kāi)發(fā)出了超精密平面磨床，采用獨(dú)立可變靜壓滑板技術(shù)實(shí)現(xiàn)高剛性加工同時(shí)，又實(shí)現(xiàn)了即使存偏載荷，油膜厚度也不會(huì)發(fā)生變化，磨削平面度達(dá)到lμm/m2。此外，加工表面通過(guò)拋光可以實(shí)現(xiàn)0.03μm/m2平面度。為了實(shí)現(xiàn)高精度加工，就必須克服熱變形。具體來(lái)說(shuō)，需要盡可能減少來(lái)自驅(qū)動(dòng)電機(jī)軸承、導(dǎo)向面等加工發(fā)熱。此外，為了不使加工工件發(fā)生熱變形，還需要控制加工點(diǎn)產(chǎn)生熱量來(lái)自工件表面汽化熱。為此，該超精密平面磨床配置了既恒溫又恒濕隔離罩，作為完整系統(tǒng)加以商品化?！　?/span>

加大砂輪進(jìn)給量、降低工件進(jìn)給速度間歇進(jìn)給磨削技術(shù)與使用電沉積磨輪高圓周速度磨削技術(shù)相結(jié)合而形成磨削技術(shù)歐洲已經(jīng)實(shí)用化了，但日本還幾乎無(wú)人采用。另一方面，減小砂輪進(jìn)給量、提高工件進(jìn)給速度快走刀磨削（高速往復(fù)式磨削）金屬模具加工等行業(yè)正逐漸成為成型磨削主流。這種磨削加工方法通過(guò)曲柄、液壓伺服裝置或直線電機(jī)增加單位時(shí)間工作臺(tái)往返次數(shù)（對(duì)行程較短工件也可以采用砂輪連續(xù)進(jìn)給），從而可以大幅度提高加工效率，也適用于金屬模具穿孔等短行程磨削。該方法缺點(diǎn)工作臺(tái)反轉(zhuǎn)時(shí)高加/減速運(yùn)動(dòng)容易引起振動(dòng)，需要設(shè)法加以抑制。為此，可以采用減輕工作臺(tái)重量、加重底盤(pán)、進(jìn)行加/減速控制以及進(jìn)行平衡等方法。快走刀磨床已被許多平面磨床生產(chǎn)廠家看好，認(rèn)為可以進(jìn)行商品化開(kāi)發(fā)，今后將成為金屬成型磨床主流。